В 2021 г. была создана лаборатория обработки полупроводниковых материалов для создания полного технологического цикла обработки полупроводниковых соединений и получения товарной продукции – полированных пластин международного качества «Epi-ready».

Технологический маршрут изготовления полированных пластин включает полтора десятка разнообразных операций механического, химического, химико-механического характера, большинство из которых проводятся в особых чистых помещениях класса ISO6 и ISO 4. Лаборатория обработки полупроводниковых материалов реализует следующие технологические этапы:

• разделение калиброванного и ориентированного монокристалла на пластины;
• очистка резаных пластин;
• обработка торцевой поверхности резаных пластин (нанесение фаски) ;
• механическое шлифование пластин;
• травление и сортировка пластин;
• двухстадийное химико-механическое полирование пластин;
• очистка от органических загрязнений;
• отмывка и упаковка полированных пластин.

Также лаборатория проводит контроль получаемых полированных пластин на предмет соответствия продукции техническим требованиям организации-потребителя. Для достижения необходимых параметров разработаны определенные технологические подходы, которые выполняются в ходе последовательного прохождения по технологическому маршруту.

Для функционирования научно-производственной линии имеется полупромышленное, лабораторное и контрольно-измерительное оборудование ведущих мировых производителей, основные и вспомогательные материалы, разработаны приспособления и оснастка. Ведется завершающий этап ее комплектования. Плановая производительность полной пилотной линии – 10 000 пластин в год. Для реализации планов лаборатории специально были созданы магистральные инженерные структуры, обеспечивающие научно-производственную линию сжатым воздухом высокой чистоты, инертными газами, деионизованной водой марки А (18 МОм); смонтированы производственные помещения с классом чистоты ISO 6 и ISO 4.