\"\"
:
ИсследованияПатенты

Патенты

Нагреватель устройства для выращивания монокристаллов из расплава методом Чохральского (2531514)

Патент РФ на изобретение № 2531514
Опубл. 28.06.2013

Патентообладатель (и):
Открытое акционерное общество «Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности «Гиредмет»

Авторы:
Алимов Олег Михайлович (RU), Аношин Константин Евгеньевич (RU), Ежлов Вадим Сергеевич (RU)

1. Нагревательный элемент устройства для выращивания монокристаллов из расплава методом Чохральского, располагаемый над расплавом в области фронта кристаллизации и имеющий форму кольцеобразного диска. При этом на внутренней и/или на внешней боковых сторонах кольцеобразного диска нагревательного элемента выполнены несквозные радиальные прорези.

2. Нагревательный элемент по п.1, отличающийся тем. что несквозные радиальные прорези внутренней боковой стороны и внешней боковой стороны нагревательного элемента расположены чередующимся образом, так что радиальные прорези одной боковой стороны расположены между радиальными прорезями другой боковой стороны верхнего нагревательного элемента.

3. Нагревательный элемент по п.2, отличающийся тем. что угол между направлениями радиальных прорезей внутренней и внешней боковых сторон нагревательного элемента составляет от 40° до 15°, предпочтительно 20°.

4. Нагревательный элемент по п. 1 или 2, отличающийся тем, что радиальные прорези внутренней боковой стороны и внешней боковой стороны верхнего нагревательного элемента расположены на одинаковом расстоянии друг от друга.

5. Нагревательный элемент по п.1, отличающийся тем, что глубина прорезей  внутренней и внешней боковых сторон нагревательного элемента в радиальном направлении составляет от 1/2 до 3/4 разности внешнего и внутреннего диаметров нагревательного элемента.

6. Нагревательный элемент по п. 1 или 5, отличающийся тем. что радиальные прорези внутренней боковой стороны и внешней боковой стороны нагревательного элемента имеют одинаковую глубину в радиальном направлении.

7. Нагревательный элемент по п. 1 или 5. отличающийся тем, что радиальные прорези внутренней боковой стороны и внешней боковой стороны нагревательного элемента имеют ширину 2-6 мм.

8. Нагревательный элемент по п. 1, отличающийся тем, что нагревательный элемент с возможностью перемещения установлен на проходящих вертикально держателях, связанных с токовводами.