:

Патенты

Евразийский патент - Способ получения поликристаллического кремния (011971)
Евразийский патент № 011971
Опубл. 30.06.2009

 

Патентообладатель (и):
Открытое акционерное общество «Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности «Гиредмет»
 

 

Авторы:
Иванов Л.С., Пархоменко Ю.Н., Елютин А.В., Митин В.В., Левин В.Г., Назаров Ю.Н., Кох А.А., Петрова И.Ю., Аркадьев А.А., Чапыгин А.М., Пекелис В.А., Симонова Т.В., Кожемякин В.А., Ровенский Д.Я., Джус Н.И.

 

Изобретение относится к производству поликристаллического кремния. Образующуюся при получении три-хлорсила из технического кремния и хлористого водорода отходящую парогазовую смесь с заявленными составом, плотностью и приведенным молекулярным весом подвергают сухой и мокрой пылеочистке, трихлорсилан очищают до полупроводниковой степени чистоты и смешивают с водородом, полученную смесь делят на потоки и вводят их в реактор на равном расстоянии друг от друга при поддержании расхода, температуры и давления, обеспечивающих получение второй отходящей парогазовой смеси с заявленными параметрами. Трихлорсилан направляют на восстановление, тетрахлорид кремния - на гидрирование при поддержании расхода, температуры и давления, обеспечивающих получение третьей отходящей парогазовой смеси с заявленными параметрами. Отходящие парогазовые смеси перед конденсацией охлаждают с установленной скоростью, из избыточного хлористого водорода получают соляную кислоту, которой отмывают непрореагировавший кремний перед его возвращением в процесс. Очистку отходящих газов проводят раствором карбонатов натрия или кальция, а затем раствором гидроксида натрия. Из промывных и отработанных растворов получают твердые кольматанты, оборотную воду и концентрированные растворы хлористого натрия, направляемого на электролиз, или хлористого кальция, используемого в качестве тампонажного раствора. Поликристаллический кремний подвергают дроблению в инертной атмосфере с отмывкой водой и получением основного продукта в виде кусков и дополнительного - в виде агломерированной пыли. Упаривание проводят до заявленной концентрации по хлористому натрию или хлористому кальцию. Непрореагировавший кремний после гидрохлорирования отмывают соляной кислотой. Кремниевые стержни изготавливают осаждением слоя поликристаллического кремния на кремниевых цилиндрических заготовках с заявленным диаметром и при заявленных мольном соотношении водорода и трихлорсилана, температуре, давлении и количестве подаваемого трихлорсилана на единицу поверхности кремниевых заготовок. Техническим результатом является обеспечение режима полностью замкнутого цикла с полной рециркуляцией участвующих в процессе веществ при отсутствии стоков и с получением дополнительных товарных продуктов при одновременном повышении выхода поликристаллического кремния и снижении энергозатрат.


Возврат к списку