:

Патенты

Способ получения углеродсодержащих покрытий (2374358)
Патент РФ на изобретение № 2374358
Опубл. 27.11.2009

 

Патентообладатель (и):
Открытое акционерное общество «Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности «Гиредмет»
 

 

Авторы:
Аверичкин П.А., Кальнов В.А., Кожухова Е.А., Левонович Б.Н., Маишев Ю.П., Пархоменко Ю.Н., Шевчук С.Л., Шлёнский А.А.

 

Изобретение относится к технологии получения углеродсодержащих защитных покрытий пиролизом органосилоксановых соединений и может быть использовано в планарной технологии твердотельной электроники, а также может найти применение в литографических процессах при формировании органосилоксановых актинорезистов и углеродсодержащих маскирующих покрытий на их основе для изготовления фотошаблонов или ионного травления пленарных структур. На подложке осаждают органосилоксаны в виде тонкой органосилоксановой пленки с атомным соотношением кремния и углерода, равным 1,0: (1,0÷4,0), после осаждения проводят отжиг при температуре 450÷650°С в инертной атмосфере при влагосодержании по точке росы не выше минус 60°С с выдержкой в течение 120÷30 мин. В частных случаях осуществления изобретения осаждение органосилоксанов на поверхности подложки осуществляют центрифугированием органосилоксановых олигомеров из растворов, или термовакуумным напылением органосилоксановых олигомеров, или из парогазовой или жидкой фазы органосилановых мономеров, или актинолитографией с получением органосилоксановой пленки в виде сплошных, равномерных слоев или в виде маскирующих покрытий. Упрощается процесс получения прочных и однородных углеродсодержащих покрытий толщиной 0,08÷0,47 мкм с удельным сопротивлением 20÷60 Омсм и скоростью плазменного травления ионами аргона 0,09÷0,11 нм/с.


Возврат к списку