:

Патенты

Способ упрочнения бездислокационных пластин кремния (2344210)
Патент РФ на изобретение № 2344210
Опубл. 20.01.2009

 

Патентообладатель (и):
Открытое акционерное общество «Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности «Гиредмет»

 

Авторы:
Меженный М.В., Мильвидский М.Г., Резник В.Я.

 

Формула изобретения

1. Способ упрочнения монокристаллических бездислокационных пластин кремния, отличающийся тем, что пластины с содержанием кислорода на уровне 6·1017 – 9·1017 см-3 подвергают двухступенчатой термообработке в инертной атмосфере сначала при температуре 1000-1200 С в течение 10-15 мин, а затем при температуре 600-650 С в течении 8,0-0,5 ч с последующим охлаждением на воздухе.

2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что термообработку проводят в атмосфере аргона.


Возврат к списку