Патенты

Формула изобретения

1. Способ упрочнения монокристаллических бездислокационных пластин кремния, отличающийся тем, что пластины с содержанием кислорода на уровне 6·10¹⁷ – 9·10¹⁷ см^-3 подвергают двухступенчатой термообработке в инертной атмосфере сначала при температуре 1000-1200 С в течение 10-15 мин, а затем при температуре 600-650 С в течении 8,0-0,5 ч с последующим охлаждением на воздухе.

2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что термообработку проводят в атмосфере аргона.