Патенты
Способ получения трихлорсилана (2280010)
Патент РФ на изобретение № 2280010Опубл. 20.07.2006
Патентообладатель (и):
Открытое акционерное общество «Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности «Гиредмет»
Авторы:
Назаркин Д.В., Елютин А.В., Чапыгин А.М., Кох А.А., Аркадьев А.А., Апанасенко В.В.
Способ получения трихлорсилана включает: синтез хлористого водорода, синтез трихлорсилана с получением трихлорсилана в парогазовой смеси, содержащей также тетрахлорид кремния, водород и хлористый водород, конденсацию хлорсиланов с отделением водорода и хлористого водорода, ректификацию полученного конденсата с разделением трихлорсилана и тетрахлорида кремния и с очисткой трихлорсилана и тетрахлорида кремния.