:

Патенты

Устройство для гидрирования тетрахлорида кремния (2278076)
Патент РФ на изобретение № 2278076
Опубл. 20.06.2006

 

Патентообладатель (и):
Открытое акционерное общество «Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности «Гиредмет»

 

Авторы:
Иванов Л.С., Левин В.Г., Назаркин Д.В., Митин В.В., Елютин А.В., Харченко В.А.

 

Изобретение относится к производству поликристаллического кремния по замкнутому циклу и касается устройств для конверсии образующегося в процессе получения поликристаллического кремния тетрахлорида кремния в трихлорсилан. Устройство для гидрирования тетрахлорида кремния включает: корпус с патрубками для подачи и вывода парогазовой смеси в реакционную камеру; нагреватели, выполненные в виде пластин, соединенные с изолированными от корпуса токовводами.


Возврат к списку