:

Патенты

Способ получения трихлосилана (2274602)
Патент РФ на изобретение № 2274602
Опубл. 20.04.2006

 

Патентообладатель (и):
Открытое акционерное общество «Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности «Гиредмет»

 

Авторы:
Иванов Л.С., Левин В.Г., Назаркин Д.В., Митин В.В., Елютин А.В., Харченко В.А.

 

Изобретение относится к способам получения трихлорсилана из тетрахлорида кремния и может быть использовано для утилизации тетрахлорида кремния, образующегося в процессе получения поликристаллического кремния водородным восстановлением трихлорсилана. Техническим результатом заявленного способа является повышение технико-экономических показателей процесса, повышение степени конверсии в одностадийном процессе за счет создания равномерного оптимального температурного режима во всем реакционном объеме, повышение выхода трихлорсилана за счет осуществления его в режиме химической рециркуляции, обеспечивающей полное превращение тетрахлорида кремния в трихлорсилан, и повышение срока службы аппаратуры.


Возврат к списку