:

Патенты

Устройство для выращивания монокристаллов (2162903)
Патент РФ на изобретение № 2162903
Опубл. 27.07.2000

 

Патентообладатель (и):
Открытое акционерное общество «Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности «Гиредмет»
 

 

Авторы:
Елютин А.В., Жвирблянский В.Ю., Золотова Г.А.

 

Изобретение относится к оборудованию, предназначенному для получения крупногабаритных монокристаллов кремния методом Чохральского. Технический результат упрощение конструкции, повышение надежности устройства и чистоты процесса. Устройство содержит герметичную камеру, имеющую верхнюю и нижнюю части. Тигель с расплавом размещен в нижней части камеры. Затравкодержатель расположен в верхней части камеры и соединен с приводами вращения и перемещения. Верхняя часть камеры имеет выступ, на котором свободно установлена шайба. Средство для поддержания кристалла содержит рычаги с опорами и захватами. В опорах размещены направляющие. К нижней части направляющих закреплено кольцо, взаимодействующее с захватами, а к верхней - пластина. При выращивании монокристалла затравкодержатель перемещется вверх. Пластина контактирует с затравкодержателем.


Возврат к списку