:

Патенты

Способ получения поликристаллического кремния (2136590)
Патент РФ на изобретение № 2136590
Опубл. 12.10.1999

 

Патентообладатель (и):
Открытое акционерное общество «Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности «Гиредмет»
 

 

Авторы:
Елютин А.В., Иваноы Л.С., Левин В.Г.

 

Изобретение может быть использовано для получения поликристаллического кремния водородным восстановлением трихлорсилана в режиме химической рециркуляции. Способ получения поликристаллического кремния водородным восстановлением трихлорсилана на кремниевые стержни-основы включает предварительную очистку исходных компонентов - водорода и трихлорсилана, приготовление парогазовой смеси в испарителе, осаждение кремния на нагретых кремниевых стержнях в реакторе восстановления, регенерацию компонентов отходящей парогазовой смеси путем фракционной конденсации хлорсиланов и хлористого водорода и возврата непрореагировавших трихлорсилана и водорода на стадию приготовления парогазовой смеси для восстановления кремния. Приготовление парогазовой смеси для восстановления осуществляют путем барботажа водорода через слой трихлорсилана в испарителе, отходящую после восстановления парогазовую смесь перед фракционной конденсацией подвергают жидкостному компримированию для создания в системе аппаратов давления, необходимого для рециркуляционной подачи парогазовой смеси в реактор восстановления: полученный после фракционной конденсации конденсат хлорсиланов подвергают ректификации с выделением в отдельный продукт трихлорсилана и тетрахлорида кремния; подачу парогазовой смеси в реактор восстановления осуществляют в количестве, пропорциональном площади поверхности кремниевых стержней в момент подачи, количество парогазовой смеси определяют зависимостью перед восстановлением осуществляют предварительный (стартовый) нагрев стержней плазменным нагревом, для нагрева используют в качестве плазмообразуюшего газа азот, перед восстановлением кремниевые стержни-основы подвергают травлению хлористым водородом, полученным после фракционной конденсации отходящей парогазовой смеси. После окончания восстановления образующиеся в процессе полихлориды со стенок реактора удаляют смесью тетрахлорида кремния и водорода при мольном отношении 1:1, снижаются энергозатраты, повышается качество кремния, производительность процесса, экологическая безопасность, снижается расход реагентов на единицу продукции.


Возврат к списку