:

Разработки и проекты

Разработка технологии нанесения покрытий особо чистого карбида кремния для получения износостойких элементов тепловых узлов высоко-температурного оборудования

Разработаны режимы технологии осаждения покрытий особо чистого карбида кремния с использованием химической рециркуляции, обеспечивающие скорость осаждения покрытии до 1 мм/час и максимальное извлечение карбида кремния из парогазовой смеси (40-45$),удовлетворяющие современным экологическим требованиям к технологии.

Разработаны варианты аппаратурно-технологических схем для обеспече­ния опытного (единичного) и серийного производства изделий с покрытиями; карбида кремния, включающие контуры очистки веществ, конденсации и рециркуляции, и конструкция узлов опытно-промышленной установки для производства изделий с покрытиями из особо чистого карбида кремния.

Получена экспериментальная партия нагревателей ленточного типа из углеродкомпозитных материалов с покрытиями из особо чистого карбида кремния, эксплуатируемых в среде хлорсиланов и хлористого водорода при температурах до 1250 - Т300°С.
 


Возврат к списку