:

Разработки и проекты

Исследование процессов дефектообразования в бездислокационных монокристаллах и пластинах кремния большого диаметра при термических и механических воздействиях с использованием УСУ «Сверхчистый кремний»

Разработана модель дефектообразования в бездислокационных монокристаллах и пластинах кремния, учитывающая роль собственных точечных дефектов, атомов сопутствующих и легирующих примесей.
Разработана методика трехмерного расчета поля упругих напряжений и деформаций в пластина кремния, испытывающих воздействие внешних сил, обусловленных собственным весом пластины и наличием радиального перепада температуры на ее поверхности.

Разработан способ упрочнения пластины кремния, защищенный патентом РФ.

Разработана методик определения содержания азота в монокристаллах кремния при измерении эффекта Холла.
 


Возврат к списку