:

Разработки и проекты

Технология получения поликристаллического кремния по замкнутому циклу с конверсией тетрахлорида кремния в трихлорсилан

Разработка относится к производству поликристаллического кремния по замкнутому циклу, а именно к утилизации тетрахлорида кремния, образующегося в процессе получения поликристаллического кремния водородным восстановлением трихлорсилана. В процессе производства поликремния на одну тонну готовой продукции образуется 11-13 тонн тетрахлорида кремния. Создана экономичная безотходная технология с утилизацией тетрахлорида кремния, получением трихлорсилана и возвращением его в процесс получения поликристаллического кремния. Наиболее перспективным способом получения трихлорсилана из тетрахлорида кремния является гидрирование.

Исходную смесь для гидрирования приготавливают в испарителе путем барботажа водорода через слой тетрахлорида кремния. Процесс гидрирования ведут в замкнутом рециркуляционном цикле. Полученные в процессе гидрирования продукты направляются снова в процесс.

Технология обеспечивает получение поликристаллического кремния высокого качества для выращивания монокристаллов и их дальнейшего использования в микроэлектронике, силовой технике, в солнечной энергетике. Технология обеспечивает снижение норм расхода сырья, материалов и электроэнергии, выполнение требований по экологической безопасности.

Технология защищена 3 патентами РФ.
 


Возврат к списку