:

Разработки и проекты

Научно-методическое обеспечение функционирования "Стенда для получения и испытания сверхчистого и бездислокационного кремния"
- Разработана база данных, обеспечивающая в электронном виде получение, хранение и автоматизированную обработку изображений дефектов, получаемых методами оптической и электронной микроскопии.

- Оптимизированы режимы многоступенчатой термообработки бездислокационных пластин кремния с разным содержанием кислорода с целью создания в их объёме эффективного внутреннего геттера для загрязняющих примесей.

- Установлена природа центров гетерогенного зарождения протяжённых дислокаций в термообработанных пластинах кремния при приложении внешних нагрузок. Показано, что наибольшей механической прочностью обладают пластины, содержащие в качестве внутреннего геттера мелкие пластинчатые преципитаты.

Возврат к списку