Разработки и проекты

Исследование и разработка технологии очистки хлорсиланов

Практическая ценность:

разработана энергосберегающая технология глубокой очистки хлорсиланов на основе ректификации под повышенным давлением;
разработаны технологии получения трихлорсилана и тетрахлорида кремния полупроводникового качества из продуктов кремнеорганического производства.

Данные этой работы вошли в проектную документацию ряда заводов полупроводниковых материалов в России и за рубежом.