Разработки и проекты
Исследование и разработка технологии очистки хлорсиланов
Практическая ценность:- разработана энергосберегающая технология глубокой очистки хлорсиланов на основе ректификации под повышенным давлением;
- разработаны технологии получения трихлорсилана и тетрахлорида кремния полупроводникового качества из продуктов кремнеорганического производства.
Данные этой работы вошли в проектную документацию ряда заводов полупроводниковых материалов в России и за рубежом.