:

Разработки и проекты

Исследование и разработка технологии очистки хлорсиланов
Практическая ценность:

  • разработана энергосберегающая технология глубокой очистки хлорсиланов на основе ректификации под повышенным давлением;
  • разработаны технологии получения трихлорсилана и тетрахлорида кремния полупроводникового качества из продуктов кремнеорганического производства.


Данные этой работы вошли в проектную документацию ряда заводов полупроводниковых материалов в России и за рубежом.

Возврат к списку