Разработки и проекты

Разработка способов переработки твёрдых и жидких отходов производства поликристаллического кремния

Практическая ценность диссертации:

разработана технология переработки твердых кремнийсодержащих отходов производства трихлорсилана;
разработана технология переработки жидких отходов производств трихлорсилана и поликристаллического кремния, содержащих полисилан- и полисилоксанхлориды как в жидкой, так и в газовой фазах;
разработан способ получения гексахлордисилана;
разработан способ нейтрализации жидких отходов производства трихлорсилана и поликристаллического кремния в водном растворе соды.
разработанные технологии позволяют возвращать перерабатываемые отходы
в основное производство и могут быть использованы на предприятиях полупроводниковой и химической промышленности.

Данные технологии внедрены в промышленное производство.