Разработки и проекты
Разработка способов переработки твёрдых и жидких отходов производства поликристаллического кремния
Практическая ценность диссертации:- разработана технология переработки твердых кремнийсодержащих отходов производства трихлорсилана;
- разработана технология переработки жидких отходов производств трихлорсилана и поликристаллического кремния, содержащих полисилан- и полисилоксанхлориды как в жидкой, так и в газовой фазах;
- разработан способ получения гексахлордисилана;
- разработан способ нейтрализации жидких отходов производства трихлорсилана и поликристаллического кремния в водном растворе соды.
- разработанные технологии позволяют возвращать перерабатываемые отходы
- в основное производство и могут быть использованы на предприятиях полупроводниковой и химической промышленности.
Данные технологии внедрены в промышленное производство.