:

Разработки и проекты

Разработка способов переработки твёрдых и жидких отходов производства поликристаллического кремния
Практическая ценность диссертации:

  • разработана технология переработки твердых кремнийсодержащих отходов производства трихлорсилана;
  • разработана технология переработки жидких отходов производств трихлорсилана и поликристаллического кремния, содержащих полисилан- и полисилоксанхлориды как в жидкой, так и в газовой фазах;
  • разработан способ получения гексахлордисилана;
  • разработан способ нейтрализации жидких отходов производства трихлорсилана и поликристаллического кремния в водном растворе соды.
  • разработанные технологии позволяют возвращать перерабатываемые отходы
  • в основное производство и могут быть использованы на предприятиях полупроводниковой и химической промышленности.


Данные технологии внедрены в промышленное производство.

Возврат к списку