:

Разработки и проекты

Разработка способов синтеза трихлорсилана при повышенном давлении

Практическая ценность  состоит в разработке эффективной технологии получения трихлорсилана при повышенном давлении, включающей прямой синтез трихлорсилана гидрохлорированием кремния и синтез трихлорсилана методом низкотемпературного каталитического гетерогенного гидрирования тетрахлорида кремния, позволяющая повысить единичную производительность реакторов, снизить расходные коэффициенты исходных реагентов и сократить количество вредных газообразных выбросов в окружающую атмосферу.

Данные этой работы по низкотемпературному каталитическому гетерогенному гидрированию тетрахлорида кремния легли в основу выданного технического предложения для проектирования промышленных установок на ведущих предприятиях РФ и стран СНГ, а данные по прямому синтезу трихлорсилана получили внедрение на ЗТМК (г.Запорожье, Украина) и на строящемся заводе полупроводниковых материалов в КНР (по проекту Гиредмета)
 


Возврат к списку