:

Разработки и проекты

Технология получения покрытий из карбида кремния

Технология получения покрытий из карбида кремния может применяться для решения ряда технических задач:
 

  • нанесение покрытий на нагреватели и детали тепловых узлов в установках
  • применение монокристаллов кремния в другом оборудовании, где требуется низкий фоновый уровень примесей;
  • в производстве нагревательных элементов на основе графита общепромышленного назначения, способных работать в инертной и окислительной атмосфере при температуре до 1600°С;
  • для получения композиционных материалов системы углерод-карбид кремния;
  • для получения контейнерных элементов при необходимости транспортировки, хранения и изоляции различных веществ.

 

Покрытия из карбида кремния наносятся на поверхности изделий из графита, углеграфитовых или других материалов методом газофазного химического осаждения. Оригинальная рециркуляционная технология обеспечивает безотходное ведение процесса, и гарантирует отсутствие загрязнения окружающей среды, несмотря на использование токсичных исходных веществ и продуктов реакции.

Получаемое покрытие состоит из чистого SiC стехиометрического состава и не содержит в кристаллической решетке примесных атомов. Технология позволяет получать изделия многих геометрических форм: цилиндр, многогранник, пластина, стержень и др. Диаметр цилиндра может быть 200-250 мм, высота до 900 мм.

 

Характеристика покрытий:

Плотность г/см3 3,21
Пористость, %  <1
Содержание примесей, % 10-3 - 10-4
Тип решетки кубический
Размер зерен, мкм 10-20
Толщина покрытия, мм 0,1-1,0



 


Возврат к списку