Разработки и проекты
Технология получения покрытий из карбида кремния может применяться для решения ряда технических задач:
- нанесение покрытий на нагреватели и детали тепловых узлов в установках
- применение монокристаллов кремния в другом оборудовании, где требуется низкий фоновый уровень примесей;
- в производстве нагревательных элементов на основе графита общепромышленного назначения, способных работать в инертной и окислительной атмосфере при температуре до 1600°С;
- для получения композиционных материалов системы углерод-карбид кремния;
- для получения контейнерных элементов при необходимости транспортировки, хранения и изоляции различных веществ.
Покрытия из карбида кремния наносятся на поверхности изделий из графита, углеграфитовых или других материалов методом газофазного химического осаждения. Оригинальная рециркуляционная технология обеспечивает безотходное ведение процесса, и гарантирует отсутствие загрязнения окружающей среды, несмотря на использование токсичных исходных веществ и продуктов реакции.
Получаемое покрытие состоит из чистого SiC стехиометрического состава и не содержит в кристаллической решетке примесных атомов. Технология позволяет получать изделия многих геометрических форм: цилиндр, многогранник, пластина, стержень и др. Диаметр цилиндра может быть 200-250 мм, высота до 900 мм.
Характеристика покрытий:
Плотность г/см3 | 3,21 |
Пористость, % | <1 |
Содержание примесей, % | 10-3 - 10-4 |
Тип решетки | кубический |
Размер зерен, мкм | 10-20 |
Толщина покрытия, мм | 0,1-1,0 |