:

Разработки и проекты

Разработка технологии термического гидрирования тетрахлорида кремния до трихлорсилана

Проведен термодинамический анализ восстановления тетрахлорида кремния водородом. Показано, что при мольном отношении Н2 : SiC14 меньше 5 : 1 выделение кремния не происходит во всем иссдедованном диапазоне температур, в тоже время идет образование других кремнийсодержащих продуктов взаимодействия SiC14 с водородом: SiHCl3; SiCl2; SiH2Cl2.

Разработана аппаратурно-технологическая схема процесса термического гидрирования тетрахлорида кремния, включающая в себя узел приготовления исходной парогазовой смеси (Н2+ SiC14), реактор для гидрирования "Конвертор" и систему регенерации отходящей из реакторов парогазовой смеси с возвратом трихлорсилана в процесс получения поликремния, водорода и непрореагировавшего тетрахлорида кремния в процесс гидрирования и хлористого водорода на синтез трихлорсилана.

Разработан технологический режим гидрирования тетрахлорида кремния для реакторов типа "Конвертор", а также система контроля и управления реактором типа "Конвертор".

Разработан эскизный проект реактора для термического гидрирования тетрахлорида кремния.
 


Возврат к списку