Разработки и проекты

Разработаны общие принцшш создания многослойных тонкоплэночных сенсорных композиций на основе чувствительных слоев аморфного гидрированного кремния с модифицированной структурой, металооксидных полупроводников и полимерных материалов для элементной базы микроэлектронных сенсоров. Изготовлены фототранзисторные структуры на основе нанокристаллическбго кремния с повышенной фоточувствительностъю и быстродействием.