:

Разработки и проекты

Исследование механизма осаждения поликристаллического кремния в реакторах стержневого типа и с кипящим слоем, на основе компьютерных расчетов газо- и термодинамики и массообмена

Исследованы механизмы осаздения поликристаллического кремния в реакторах стержневого типа и с кипящим слоем с использованием метода моделирования. Создан алгоритм и составлена программа для проведения компьютерных расчетов процесса осаждения поликристаллического кремния. Расчеты газовой динамики показали, что в широком диапазоне технологических параметров механизм процесса осаздения поликремния в реакторах стержневого типа достаточно консервативен.

На основе компьютерных расчетов газо-, термодинамики и массообмена теоретически рассмотрена физико-химическая гидродинамика в аппаратах водородного восстановления хлорсиланов.
 


Возврат к списку