:

Разработки и проекты

Разработка приниципиальной технологии получения трихлорсиланс и тетрахлорида кремния из отходов производства поликремния

Разработаны принципиальные аппаратурно-технологические схемы получения трихлорсилана и тетрахлорида кремния из отходов производства поликремния, с подборкой технологического оборудования, обеспечивающего получение продуктов, отвечающих требованиям высокочистых соединений.

Разработан, изготовлен и опробован пробоотборник с фторопластовым коллектором, позволяющий на стадии отбора проб исключить попадание загрязнений из окружающей среды. По трихлорсилану уровень примесей по элементам не менее 5×10-8 масс%,по углеродсодержащим не менее 5×10-8масс%. По тетрахлориду кремния чистота продукта оценивалась по качеству эпитаксиальных структур. Получены значения 5-8-12 см-3, что соответствует удельному сопротивлению ~ 1000 ом ×см. Эти показатели подтверждают высокое качество очистки тетрахлорида кремния и возможность его использования для полупроводниковых материалов с улучшенными свойствами.
 


Возврат к списку