:

Разработки и проекты

Разработка лабораторной технологии буферных изолирующих слоев на основе нанокристаллического пористого кремния

Одним из наиболее важных преимуществ нанокристаллического пористого кремния (НПК) является огромная площадь внутренней поверхности, что обеспечивает высокую скорость его удаления травлением при комнатной температуре.

Ранее в качестве жертвенного слоя использовались главным образом монокристаллический кремний и окисел кремния).

НПК является также прекрасным жертвенным слоем и с точки зрения литографических процессов, обладая ровной поверхностью, он служит хорошим основанием для нанесения тонких слоев. Технология НПК полностью совместима с технологией интегральных схем. Изучен процесс электролитического формирования НПК на монокристаллической и поликристаллической подложках и разработана технология, обеспечивающая изготовление таких слоев с шероховатостью, не превышающей 0.05 мкм и скоростью их удаления травлением не менее 8 мкм/мин.
 


Возврат к списку