:

Разработки и проекты

Разработка и испытание высокопроизводительной энергосберегающей установки для получения поликристаллического кремния и комплекса вспомогательных устройств к установкам для выращивания монокристаллов

Определены исходные технические требования и разработан технический проект установки для приготовления парогазовой смеси на базе испарителя газлифтного типа, обеспечивающей работу технологического блока по производству поликристаллического кремния.

Рассмотрены конструкционные материалы на основе углерода, используемые для изготовления тепловых узлов установки для получения монокристаллического кремния. Разработана конструкторская документация на тепловые узлы и система подпитки тигля и ее элементы: бункер и питатель.

Выполнены сравнительные оценки возможности применения различных систем нагрева для проведения газофазных процессов осаждения пироутлеродч ных и карбидокремниевых покрытий, теоретически определены параметры систем энергопитания нагревателей с применением ВЧ- и резистивного нагрева.

Разработан унифицированный макет технологического модуля для получения высокотемпературных покрытий на изделиях различной геометрии. Разработанный модуль изготовлен, смонтирован и испытан.


Возврат к списку