\"\"
:
ИсследованияРазработки и проекты

Разработки и проекты

Разработка технологии тетрахлорида гафния, содержащего не более 200 ppm циркония

Для интегральных схем наноэлектроники нового поколения требуется создание барьерного материала, который в настоящее время отсутствует. Необходимо обеспечить миниатюризацию интегральных схем, что позволит разработать приборы и устройства нового поколения.

Разработана опытная технология высокочистого тетрахлорида гафния.