:

Разработки и проекты

Малогабаритная установка для выращивания монокристаллов

В Гиредмете в 2004 г. разработан проект малогабаритной установки для выращивания монокристалллов методом Чохральского.

 

Технические характеристики:

  1. Максимальная температура на нагревателе, °С - 1750
  2. Тип нагрева - резистивный (графит)
  3. Диаметр тигля, мм - 150
  4. Предельный вакуум, мм.рт.ст - 5.10"2
  5. Давление инертного газа, мм.рт.ст - 5 - 50
  6. Максимальных ход затравки, мм - 350
  7. Максимальный ход тигля, мм - 100
  8. Скорость перемещения затравки, мм/мин
    Рабочая - 0,1-5,0
    Маршевая - 100
  9. Перемещение тигля - ручное
  10. Скорость вращения затравки, об/мин - 3-30
  11. Скорость вращения тигля, об/мин - 5-30
  12. Установленная мощность, кВт - 60
  13. Компьютерная система управления обеспечивает автоматическое поддержа-ние диаметра кристалла

Базовым вариантом является установка для выращивания монокристаллов кремния. С незначительными видоизменениями она может использоваться для выращивания монокристаллов арсенида галлия, антимонида индия, германия и других материалов. Установка может быть изготовлена на предприятии НИИ «Изотерм», г. Брянск.

 

Особенности установки:

  • небольшие габариты;
  • относительно низкое энергопотребление;
  • невысокие эксплуатационные затраты;
  • приемлемая стоимость:
  • современный уровень автоматизации.

Установка предназначена для проведения исследовательских работ и может быть использована для обучения студентов металлургических специальностей.

 

razrab_1.jpg
razrab_2.jpg
 
1. Печной блок
2. Шкаф управления
3. Силовой блок
4. Система охлаждения

Возврат к списку