Разработки и проекты
Малогабаритная установка для выращивания монокристаллов
В Гиредмете в 2004 г. разработан проект малогабаритной установки для выращивания монокристалллов методом Чохральского.
Технические характеристики:
- Максимальная температура на нагревателе, °С - 1750
- Тип нагрева - резистивный (графит)
- Диаметр тигля, мм - 150
- Предельный вакуум, мм.рт.ст - 5.10"2
- Давление инертного газа, мм.рт.ст - 5 - 50
- Максимальных ход затравки, мм - 350
- Максимальный ход тигля, мм - 100
- Скорость перемещения затравки, мм/мин
Рабочая - 0,1-5,0
Маршевая - 100 - Перемещение тигля - ручное
- Скорость вращения затравки, об/мин - 3-30
- Скорость вращения тигля, об/мин - 5-30
- Установленная мощность, кВт - 60
- Компьютерная система управления обеспечивает автоматическое поддержа-ние диаметра кристалла
Базовым вариантом является установка для выращивания монокристаллов кремния. С незначительными видоизменениями она может использоваться для выращивания монокристаллов арсенида галлия, антимонида индия, германия и других материалов. Установка может быть изготовлена на предприятии НИИ «Изотерм», г. Брянск.
Особенности установки:
- небольшие габариты;
- относительно низкое энергопотребление;
- невысокие эксплуатационные затраты;
- приемлемая стоимость:
- современный уровень автоматизации.
Установка предназначена для проведения исследовательских работ и может быть использована для обучения студентов металлургических специальностей.


2. Шкаф управления
3. Силовой блок
4. Система охлаждения