:

Разработки и проекты

Способ упрочнения бездислокационных пластин кремния

bes-si.jpgПовышение механической прочности монокристаллических бездислокационных пластин полупроводникового кремния большого диаметра (150-300мм), вырезаемых из монокристаллов кремния, выращиваемых методом Чохральского, осуществляется путем двухступенчатой термообработки в инертной атмосфере, например аргона, с последующим охлаждением на воздухе. Технический результат заключается в упрочнении пластин кремния, в частности, в повышении в них напряжений начала пластической деформации при приложении механических и термических напряжений без ухудшения электрофизических свойств монокристалла и его структурного совершенства. Удельное сопротивление, концентрация и подвижность носителей тока в термообработанных пластинах остаются практически неизменными (Патент РФ №2344210 от 22октября 2007г.).

Пластины используются для изготовления высококачественных сверхбольших и сверхскоростных интегральных схем и дискретных электронных приборов.


Возврат к списку