\"\"
:
Продукция и услугиСпециальное оборудование для производства полупроводников и металловУстановка "Редмет 90М"

Установка "Редмет 90М"

Установка «Редмет-90М» предназначена для выращивания бездислокационных монокристаллов кремния методом Чохральского.

Установка «Редмет-90М» является развитием серии установок «Редмет» и базируется на конструктивных решениях, прошедших многолетнюю отработку в серийном производстве. Ее отличают надежность работы, удобство обслуживания, простота изготовления и эксплуатации.

 

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ

 

Величина загрузки тигля до 210 кг
Максимальный диаметр монокристалла 300 мм
Осевое перемещение затравки до 3000 мм
Диаметр тигля 508 мм, 610 мм
Установленная мощность 250 кВт
Скорость перемещения затравки  

рабочая

(0,25... 7,6) мм/мин

маршевая

(14...720) мм/мин
Частота вращения затравки (1...36) об/мин
Скорость перемещения тигля  

рабочая

(0,03...0,77) мм/мин
 

маршевая

46 мм/мин
Частота вращения тигля (1...28) об/мин
Величина хода штока тигля 450 мм
Вакуум предельный 5·10-2 торр
Давление инертного газа  

на входе

2,0 ати

в камере

(5...20) торр
Расход инертного газа (1000...4000) л/ч
Давление воды  

на входе

(2...4) ати

на выходе

свободный слив
Расход воды до 10 м3
Электропитание установки трехфазное,380/220В,50Гц
Система управления компьютеризированная
Габариты печного агрегата  

ширина

1900 мм

глубина

2350 мм

высота

7400 мм

высота при поднятой камере

8200 мм
Масса печного агрегата 4500 кг


 

Установка «Редмет-90М» включает в себя:

  • Печной агрегат;
  • Блок силового электропитания;
  • Систему индикации, контроля и управления.

 

В объем поставки входят следующие основные узлы:

  • печной агрегат (в частично демонтированном виде):
    рама с плавильной камерой1;
    камера кристалла;
    колонна несущая (в том числе, привод подъема камеры кристалла);
    шибер вакуумный;
    привод вращения и перемещения затравки;
    привод вращения и перемещения тигля;
    вакуумно-газовая система (насосы, трубопроводы, фильтры);
    система водяного охлаждения;
  • шкаф системы индикации, контроля и управления;
  • блок силового электропитания;
  • сопроводительная техническая документация;
  • запчасти, инструмент, приспособления2.

 

1По дополнительному требованию заказчика может быть поставлен тепловой узел.

2По дополнительному требованию заказчика могут быть поставлены площадка обслуживания верхнего привода устройства дозагрузки тигля, устройство съема и транспортировки кристаллов и др.