\"\"
:
Продукция и услугиСпециальное оборудование для производства полупроводников и металловУстройство загрузки тигля П1158

Устройство загрузки тигля П1158

Устройство позболяет дo минимума снизить время контакта исходного материала с окружающей атмосферой после его загрузки в тигель и до начала процесса выращивания.


Устройство также позволяет:

  • транспортировать загруженный в чистом помещении тигель к установке в ростовой зал;
  • хранить загруженный тигель длительное время, т.к. загрузка надежно герметизирована. Разгерметизация устройства проводится после размещения тигля в тепловом узле;
  • размещать тигель в тепловом узле с помощью механизма подьема затравки.

Использование на ростовом участке двух и более устройств загрузки П1047 позволит повысить производительность установок за счет сокращения времени вспомогательных операций.