:

Описание технологии

Описание технологии Оборудование Наши партнеры

 

 

«Более пятидесяти лет институт «Гиредмет» работает в области научных исследований, создания оборудования и проектирования предприятий по производству полупроводникового кремния.

В настоящее время ОАО «Гиредмет» участвует в реализации проектов по созданию производств поликристаллического кремния общей мощностью свыше 20 тыс. тонн в год.

Основу технологии составляет «Сименс-процесс», который в мировой практике является основным способом получения поликристаллического кремния.

ОАО «Гиредмет» предлагает модернизированную технологию для получения поликристаллического кремния, которая обеспечивает наилучшие показатели производства для материала «электронного» или «солнечного» качества.

В основе процесса лежит метод водородного восстановления кремния из трихлорсилана. Особенностью предлагаемой технологии является применение высокопроизводительного оборудования и рециркуляционных контуров с целью максимального использования исходных веществ для получения целевых продуктов».


Для реализации предлагаемой модернизированной технологии в промышленном масштабе в составе производства должны функционировать следующие основные технологические отделения и переделы:
 

  1. Синтез хлористого водорода из водорода и хлора.
  2. Синтез трихлорсилана путем гидрохлорирования кремния.
  3. Пылеочистка парогазовой смеси после синтеза трихлорсилана.
  4. Разделение и очистка хлорсиланов (ректификация).
  5. Водородное восстановление кремния с использованием парогазовой смеси: трихлорсилан – водород.
  6. Гидрирование тетрахлорида кремния до трихлорсилана с использованием парогазовой смеси: тетрахлорид кремния – водород.
  7. Конденсация и регенерация парогазовой смеси, образовавшейся при синтезе трихлорсилана, а также в процессах водородного восстановления и гидрирования.
  8. Обезвреживание и утилизация твердых, жидких и газообразных отходов производства.
  9. Контроль качества и сертификация исходного сырья, промежуточной и готовой продукции.
  10. Подготовка поликремния для реализации как товарной продукции (колка, упаковка и др.).
     

 polysilicon-4.jpg

 Новые проекты ОАО «Гиредмет» обеспечивают значительное снижение расходных норм сырья и энергоносителей по сравнению с предыдущими проектами.
 

polysilicon-5.jpg
 

Представленные показатели достигаются комплексом проектных и технологических решений, включающих, в частности, оснащение предприятия высокопроизводительным оборудованием.


 Поликристаллический кремний полупроводниковой чистоты, является основным сырьем для изготовления изделий полупроводниковой техники, включая дискретные и интегральные приборы микроэлектроники и солнечные фотоэлементы.

Показатели (типовая спецификация) поликристаллического кремния электронного качества в проектах ОАО «Гиредмет»:
 

polysilicon-6.jpg


 

Оптимизация процессов и аппаратурных схем для получения высококачественного поликристаллического кремния позволяет достичь рекордных показателей производства, существенно снизить себестоимость продукции. Этот фактор особенно важен в настоящее время для развития альтернативной энергетики с применением солнечных батарей на основе кремния.